納米壓印機是一種非常靈活的壓印設備。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統可根據特定需求輕松配置，體積小，容易存放，大可處理210mm圓形的任何尺寸印章和基材。該系統是手動裝卸印章和模板，但所有處理器都是全自動的，軟件用戶可以*控制壓印過程。
該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準。此外，該系統還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻。納米壓印機提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。
對于壓印工藝，本產品允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括印章的釋放機制。本產品專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力，以實現高產量的壓印，該卡盤設計既支持軟印章也支持硬印章。
優(yōu)勢：
1、對準選項；
2、可編程的PLC觸屏界面；
3、分辨率優(yōu)于10μm，產率優(yōu)于99%；
4、納米壓印機同時適用于軟模和剛性模板；
5、自動脫模，防止模板和基板損壞；
6、可壓印不同尺寸的模板和基片，方便靈活。
